a. Vacuum chamber ±¸¼º (1§Ò~25§Ò All Àû¿ë)b. Heating chamber Àû¿ë (400¡É ~ 700¡É)c. Vacuum chamber ¼öÀº Æ÷Áý±â Àû¿ë
a. ¼öÀº ȸ¼ö¿ë ³Ã°¢ Unit Àû¿ë (-7¡É ~ -40¡É)b. Hg Boiling point : 356.7¡É Freezing point : -38.87¡É
ÀÚ»ç µ¿È£Å×Å©¿¡¼ °³¹ßÇÑ UV ·¥ÇÁ ºÐ¸®±â´Â Áø°ø»óÅ¿¡¼ ·¥ÇÁ Æļâ ÈÄ °¡¿À» ÅëÇØ ¾×Ã¼ÈµÈ Æó ¼öÀºÀ» ±âÃ¼È ÈÄ ¼öÀº Æ÷Áý±â¸¦ ÅëÇØ ´ë±â¿¡ ³ëÃâµÇÁö ¾Ê°í ¾ÈÀüÇÏ°Ô ¼öÀºÀ» Æ÷Áý ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Æ¯ÈµÈ ¼³ºñ ÀÔ´Ï´Ù.£ÛƯÇãÃâ¿ø Áß]
a. ·ÎÅ͸® ÆßÇÁ Àû¿ëb. Chamber heating ¹× Vacuum »óÅ À¯Áö
a. Cooling tankb. ¼öÀº Æ÷Áý tank
Áø°ø ÆßÇÁ ±¸¼ºÀ» ÅëÇØ UV ·¥ÇÁ Æļâ½Ã ´ë±â Áß ¿À¿° µÉ ¼ö ÀÖ´Â ¼öÀºÀ» Áø°ø è¹ö¸¦ ÅëÇØ ¿ÏÀü Â÷´Ü ¹× ÀÌÁß ³Ã°¢ ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇÑ Æó ¼öÀº ¾ÈÀü ¼ö°Å ¹× À¯ÇØ È¯°æ ´ë±â ¿À¿° ¹æÁö¸¦ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÚ»ç µ¿È£Å×Å©¸¸ÀÇ Æ¯ÈµÈ ¼³ºñ ÀÔ´Ï´Ù.